減速機羅茨泵是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵真空設備的一種。

減速機羅茨泵的物理原理：

減速機羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的優良真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的真空。為了提高泵的優良真空度，可將羅茨泵串聯使用。減速機羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然具體以臨床效果為主。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個8字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有間隙，可以實現高轉速運行。

減速機羅茨泵的特點：

1、在較寬的壓強范圍內有較大的抽速；

2、起動快，能立即工作；

3、對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；

4、轉子不必潤滑，泵腔內無油；

5、振動小，轉子動平衡條件較好，沒有排氣閥；

6、驅動功率小，機械摩擦損失小；

7、結構緊湊，占地面積小；

8、運轉維護費用低。

因此，減速機羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業部門獲得廣泛的應用。